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簡要描述:
酸(suan)霧凈(jing)化(hua)塔 有機廢氣(qi)(qi)處(chu)理(li)設備(bei)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)凈(jing)化(hua)與特(te)種氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)除雜——吸附(fu) 多晶(jing)硅,灰色金屬光(guang)澤,溶于氫氟酸(suan)和硝酸(suan)的(de)混酸(suan)中(zhong), 不溶于水(shui)、硝酸(suan)和鹽(yan)酸(suan)。高溫熔融狀(zhuang)態(tai)下,具(ju)有較大的(de)化(hua)學活潑性質,能與幾乎任(ren)何材料作用,具(ju)有半(ban)導體(ti)(ti)(ti)性質,是極為重(zhong)要的(de)優良半(ban)導體(ti)(ti)(ti)材料,但是微量的(de)雜質即可大大影響其(qi)導電性。
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酸霧凈化塔(ta) 有(you)機廢氣處理設備
氣(qi)體凈化與(yu)特種氣(qi)體除雜——吸附(fu) 多晶硅,灰色(se)金屬光澤,溶(rong)(rong)于氫(qing)氟(fu)酸(suan)和硝酸(suan)的混酸(suan)中, 不溶(rong)(rong)于水、硝酸(suan)和鹽酸(suan)。高溫熔融狀態下,具有(you)(you)較大的化學活(huo)潑性質,能與(yu)幾乎任(ren)何材(cai)料作(zuo)用,具有(you)(you)半導體性質,是極為重要的優良半導體材(cai)料,但是微量(liang)的雜質即可大大影響其導電(dian)性。
電子(zi)工業中廣泛應(ying)用于制(zhi)造各(ge)類產品,由干燥硅粉與干燥氯(lv)(lv)化氫氣體(ti)在(zai)一(yi)定條件下氯(lv)(lv)化,再經冷凝(ning)、精餾、還原(yuan)而得(de)。
多晶硅是生產單(dan)晶硅的(de)直(zhi)接原料(liao)(liao),是當代人工智能、自動控制、信(xin)(xin)息處理、光電轉換等半導體器(qi)件(jian)的(de)電子信(xin)(xin)息基礎材料(liao)(liao),被稱為(wei)“微電子大(da)廈的(de)基石(shi)"。
而在(zai)生產過程(cheng)中由于氣(qi)體(ti)雜質的(de)(de)存在(zai),對半導體(ti)材料的(de)(de)危害也是(shi)很(hen)大的(de)(de),為(wei)了得到高質量的(de)(de)多晶硅和單晶硅,因此(ci)在(zai)氣(qi)體(ti)前必須將氣(qi)體(ti)進行凈(jing)化。凈(jing)化的(de)(de)方法有很(hen)多,在(zai)氣(qi)體(ti)凈(jing)化技(ji)術(shu)中,經常綜合運(yun)用以下幾個方面的(de)(de)知識;
酸(suan)霧凈化塔 有機(ji)廢氣處(chu)理設(she)備(bei)
用吸(xi)濕(shi)性液(ye)體干燥(zao)劑(ji)(液(ye)堿、硫酸等)進行(xing)吸(xi)收;
用固體干燥劑:KOH、CuSO4、CaCl2過氯酸鎂等進行化學吸收,用硅膠、
分子篩等進行物理(li)吸(xi)收;
用催化劑進行化學催化;
用(yong)冷(leng)媒或冷(leng)劑(液態氮等(deng))進(jin)行低溫冷(leng)凍;
其中吸附(fu)劑(ji)的種類(lei)有(you)很多,目前我國半(ban)導體工業中應(ying)用的還(huan)是硅(gui)膠分子(zi)篩酯類(lei)的吸附(fu)劑(ji)。
化(hua)(hua)學(xue)(xue)催(cui)化(hua)(hua)反(fan)應是指存在(zai)于氣(qi)(qi)體(ti)(ti)中(zhong)的(de)(de)有害雜質(zhi)有時不能(neng)靠(kao)物理(li)的(de)(de)方法從(cong)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)中(zhong)去(qu)除(chu),而是借(jie)助(zhu)催(cui)化(hua)(hua)劑(ji)的(de)(de)作用,使(shi)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)中(zhong)的(de)(de)雜質(zhi)被吸附在(zai)催(cui)化(hua)(hua)劑(ji)表面,使(shi)雜質(zhi)與氣(qi)(qi)體(ti)(ti)中(zhong)的(de)(de)其他組分相(xiang)互起(qi)化(hua)(hua)學(xue)(xue)反(fan)應轉化(hua)(hua)為無害的(de)(de)化(hua)(hua)合物,這猴子(zi)那個方法被稱(cheng)為化(hua)(hua)學(xue)(xue)催(cui)化(hua)(hua)。
海(hai)普(pu)開發(fa)的(de)氣(qi)體(ti)凈化(hua)與(yu)特種氣(qi)體(ti)除(chu)雜(za)——吸附工藝,采用自主研發(fa)的(de)吸附催化(hua)產(chan)品,可針(zhen)對性解決半導體(ti)行業中的(de)氣(qi)體(ti)凈化(hua)與(yu)特種氣(qi)體(ti)除(chu)雜(za)。