電子車間廢氣處理-杭州

　　電(dian)(dian)子(zi)工(gong)業有機(ji)廢氣VOCs的排(pai)放，對大(da)氣質(zhi)量(liang)、人體健康以(yi)及(ji)周邊生活(huo)環境的危害都較大(da)，對該類污染物進行(xing)有效控(kong)制和治理問(wen)題也愈發(fa)重要。電(dian)(dian)子(zi)工(gong)業從產(chan)(chan)品產(chan)(chan)業鏈(lian)劃分，自上(shang)而下(xia)分為電(dian)(dian)子(zi)整機(ji)產(chan)(chan)品、電(dian)(dian)子(zi)基礎產(chan)(chan)品和電(dian)(dian)子(zi)材(cai)料三個層次。其(qi)中涵蓋：電(dian)(dian)子(zi)材(cai)料、半導體器件、電(dian)(dian)子(zi)元件及(ji)印制電(dian)(dian)路板(ban)、光電(dian)(dian)器件和電(dian)(dian)子(zi)終端產(chan)(chan)品等5個方面(mian)。

　　電(dian)(dian)子工(gong)業(ye)是VOCs排放(fang)的主(zhu)要行(xing)業(ye)之一，電(dian)(dian)子工(gong)業(ye)廢氣(qi)VOCs排放(fang)種類有(you)30多種，組分復雜(za)。電(dian)(dian)子工(gong)業(ye)廢氣(qi)VOCS主(zhu)要來源于對電(dian)(dian)子產品的表面涂層(ceng)工(gong)藝環節所(suo)用溶劑(ji)型涂料和(he)清洗工(gong)藝環節所(suo)用有(you)機溶劑(ji)所(suo)致。電(dian)(dian)子工(gong)業(ye)廢氣(qi)VOCS常(chang)見的種類有(you)：異丙醇(chun)、丁酮、甲(jia)苯、醋酸丁酯(zhi)、甲(jia)醇(chun)、乙(yi)(yi)醇(chun)、丙酮、二(er)甲(jia)苯、丙二(er)醇(chun)單甲(jia)醚、苯乙(yi)(yi)烯、乙(yi)(yi)酸乙(yi)(yi)酯(zhi)、正(zheng)丁醇(chun)、甲(jia)基異丁基甲(jia)酮、二(er)氯(lv)甲(jia)烷、環已酮、乙(yi)(yi)苯、正(zheng)庚烷、甲(jia)氫呋喃、三氯(lv)乙(yi)(yi)烯。

　　一般來(lai)說，廢氣(qi)排放中風量(liang)較(jiao)大，VOCs濃度(du)較(jiao)低。半(ban)導體(ti)工藝過程中有(you)機廢氣(qi)具有(you)排放流量(liang)大(通(tong)常大于11000m3/h)和(he)濃度(du)低(通(tong)常小于25ppmv)的特點。電(dian)子工業廢氣(qi)VOCs排放中還(huan)含有(you)酸性氣(qi)體(ti)、堿性氣(qi)體(ti)和(he)一些有(you)體(ti)。

　　揮發(fa)性有機(ji)物(VOCs)排放(fang)量大、濃度(du)低、成分(fen)復(fu)雜，常見有機(ji)廢氣治(zhi)理方法如：焚燒、吸附、冷凝、生物膜法、低溫等離子、光催化氧化等，單獨運用或(huo)無法達成經(jing)濟高效運行，或(huo)不能滿足嚴苛的排放(fang)標準。

　　焚(fen)燒法(RTO)：能耗大(da)、運行成(cheng)本(ben)高(gao)，適合處理高(gao)濃度、小風量(liang)有機(ji)廢氣。

　　吸附法(活性(xing)炭(tan))：投資小、工藝簡(jian)單，易飽和，必須與脫附、冷凝(ning)、焚燒等方法聯用(yong)才能(neng)滿足排(pai)放(fang)要求。

　　冷(leng)(leng)凝(ning)法：與吸(xi)收(shou)、吸(xi)附(fu)等方法聯(lian)用(yong)，將(jiang)有(you)(you)機廢(fei)(fei)氣吸(xi)附(fu)濃縮后冷(leng)(leng)凝(ning)、分(fen)離，回(hui)收(shou)其中有(you)(you)價(jia)值的有(you)(you)機物(wu)。此法適用(yong)濃度高、風量小的有(you)(you)機廢(fei)(fei)氣處(chu)理(li)場合。缺點(dian)是：投(tou)資、能(neng)耗、運行費用(yong)高，冷(leng)(leng)凝(ning)回(hui)收(shou)物(wu)提純處(chu)理(li)后，仍有(you)(you)相當部(bu)分(fen)液態廢(fei)(fei)棄物(wu)需(xu)要進(jin)一(yi)步處(chu)理(li)。該方案與生產設備、生產工藝存在匹(pi)(pi)配關系(xi)，偏(pian)離這種匹(pi)(pi)配關系(xi)將(jiang)提高治(zhi)理(li)成本，影響治(zhi)理(li)效果。

　　沸石(shi)轉輪(lun)濃(nong)縮+焚燒法(fa)：沸石(shi)轉輪(lun)濃(nong)縮設備(bei)基(ji)本依靠進(jin)口，自(zi)主(zhu)產品尚(shang)不成熟。該方案同樣與(yu)生產設備(bei)、生產工藝(yi)存在(zai)匹配關系。

　　低(di)溫等離子、光催化(hua)(hua)氧化(hua)(hua)法：揮發性有機物處(chu)理效(xiao)率低(di)，只能作為輔助性的治理手段。

高溫等離(li)子(zi)焚燒技術(shu)是高頻(30KHz)高壓(ya)(100KV)大功(gong)率電源在特(te)定條件(jian)下(xia)的聚(ju)能(neng)放電，產(chan)生3千℃等離(li)子(zi)態高溫氣(qi)流。

　　有機廢氣在(zai)反應器中經過壓縮、高(gao)(gao)壓聚(ju)能放電(dian)成(cheng)為高(gao)(gao)溫(wen)等離(li)子體。反應器壓力增高(gao)(gao)，氣體體積急劇膨脹，在(zai)高(gao)(gao)溫(wen)、高(gao)(gao)電(dian)勢的雙(shuang)重作用下(xia)，有機廢氣瞬間(萬分之5秒(miao))成(cheng)為高(gao)(gao)溫(wen)等離(li)子體，其中長(chang)分子鏈裂解成(cheng)單質原子，有機物清除率(lv)大于98%。

　　高溫等離子焚燒裝(zhuang)置無需(xu)濃(nong)縮(suo)，便(bian)可直(zhi)接處理低濃(nong)度、大風量有機廢氣。每處理1萬立方米/小時有機廢氣，僅消耗10kW電力。

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電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)工(gong)業從產(chan)品(pin)(pin)來(lai)(lai)分的話，自上而下(xia)可以(yi)分為電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)整機產(chan)品(pin)(pin)和電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)基(ji)(ji)礎產(chan)品(pin)(pin)，還(huan)有(you)電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)材(cai)料(liao)等三個部分，其(qi)中包(bao)含(han)有(you)：光(guang)電(dian)(dian)(dian)器(qi)件(jian)、半導體器(qi)件(jian)、電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)元件(jian)及電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)終端產(chan)品(pin)(pin)等方面。電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)廠(chang)廢(fei)(fei)氣的主要來(lai)(lai)源是對(dui)電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)產(chan)品(pin)(pin)的表面涂層工(gong)藝環(huan)節(jie)所用(yong)溶(rong)劑(ji)型(xing)涂料(liao)和清洗工(gong)藝環(huan)節(jie)所用(yong)有(you)機溶(rong)劑(ji)所致(zhi)。電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)工(gong)業廢(fei)(fei)氣VOCS常見的種類(lei)有(you)：異丙(bing)醇(chun)、丁酮(tong)、甲(jia)(jia)(jia)苯(ben)、醋酸丁酯、甲(jia)(jia)(jia)醇(chun)、乙(yi)醇(chun)、丙(bing)酮(tong)、二(er)甲(jia)(jia)(jia)苯(ben)、丙(bing)二(er)醇(chun)單甲(jia)(jia)(jia)醚、苯(ben)乙(yi)烯、乙(yi)酸乙(yi)酯、正丁醇(chun)、甲(jia)(jia)(jia)基(ji)(ji)異丁基(ji)(ji)甲(jia)(jia)(jia)酮(tong)、二(er)氯甲(jia)(jia)(jia)烷、環(huan)已酮(tong)、乙(yi)苯(ben)、正庚烷、甲(jia)(jia)(jia)氫呋喃、三氯乙(yi)烯。

對于(yu)這種排放(fang)量(liang)大、濃度低(di)(di)、成分復雜的(de)廢氣(qi)，比較常用的(de)廢氣(qi)處理方法有(you)：焚(fen)燒(shao)、吸附、冷(leng)凝(ning)、生物膜法、低(di)(di)溫(wen)等離(li)子、光催化氧化等，單(dan)獨使用的(de)話有(you)可能無法達成經(jing)濟運行(xing)，或不(bu)能滿足嚴苛的(de)排放(fang)標準，以下對于(yu)電子廠車間廢氣(qi)處理的(de)幾種方法進行(xing)簡(jian)單(dan)介紹一下：

1、焚燒法（RTO）：能耗大、運行成(cheng)本(ben)高，適合處理(li)高濃度(du)、小風量有機廢氣；

2、吸附法（活性(xing)炭）：投(tou)資(zi)小、工藝(yi)簡單(dan)，易飽和，需要(yao)與脫附、冷凝、焚燒等方(fang)法聯用才能滿(man)足排(pai)放要(yao)求；

3、冷凝法：與(yu)吸收(shou)、吸附等方法聯(lian)用(yong)(yong)，將有(you)機廢(fei)氣吸附濃縮后冷凝、分(fen)離，回收(shou)其中有(you)價值的(de)(de)有(you)機物(wu)。此法適(shi)用(yong)(yong)濃度高、風量(liang)小的(de)(de)有(you)機廢(fei)氣處理(li)(li)場合。缺(que)點是：投資(zi)、能耗、運行費用(yong)(yong)高，冷凝回收(shou)物(wu)提(ti)純(chun)處理(li)(li)后，仍有(you)相當(dang)部分(fen)液態廢(fei)棄(qi)物(wu)需(xu)要進一步處理(li)(li)。該(gai)方案與(yu)生產(chan)設備、生產(chan)工藝存在(zai)匹(pi)配關(guan)系，偏離這種匹(pi)配關(guan)系將提(ti)高治(zhi)理(li)(li)成本，影響治(zhi)理(li)(li)效(xiao)果；

5、光(guang)催化(hua)氧(yang)化(hua)法：采(cai)用C波段(duan)（僅次于切割不銹鋼(gang)的(de)激光(guang)，強(qiang)于氬弧焊(han)光(guang)源的(de)數(shu)十倍強(qiang)度）在(zai)設備內，強(qiang)裂解(jie)惡臭物(wu)質(zhi)分(fen)子(zi)鏈，改變物(wu)質(zhi)結(jie)構(gou)，將高分(fen)子(zi)污染物(wu)質(zhi)，裂解(jie)、氧(yang)化(hua)成為低分(fen)子(zi)無害物(wu)質(zhi)，如水和二氧(yang)化(hua)碳等；

6、高(gao)(gao)溫(wen)等離(li)子(zi)(zi)凈(jing)化法：經過壓縮、高(gao)(gao)壓聚(ju)能放電(dian)成(cheng)(cheng)為高(gao)(gao)溫(wen)等離(li)子(zi)(zi)體(ti)。反(fan)應器壓力增高(gao)(gao)，氣(qi)體(ti)體(ti)積急劇膨脹(zhang)，在(zai)高(gao)(gao)溫(wen)、高(gao)(gao)電(dian)勢的(de)雙重(zhong)作用下(xia)，有(you)機廢氣(qi)瞬間(萬分之5秒)成(cheng)(cheng)為高(gao)(gao)溫(wen)等離(li)子(zi)(zi)體(ti)，其中長(chang)分子(zi)(zi)鏈裂解成(cheng)(cheng)單(dan)質原子(zi)(zi)，有(you)機物(wu)凈(jing)化率(lv)在(zai)90%左右(you)。

常州藍(lan)陽環(huan)保有限(xian)公司主要產品有：低(di)溫等離子廢(fei)氣(qi)凈(jing)(jing)化(hua)器(qi)(qi)、光(guang)氧催(cui)化(hua)廢(fei)氣(qi)凈(jing)(jing)化(hua)設(she)備(bei)、活(huo)性炭吸附箱、催(cui)化(hua)燃(ran)燒設(she)備(bei)、脈沖式濾筒除塵器(qi)(qi)、脈沖式布(bu)袋除塵器(qi)(qi)、噴淋凈(jing)(jing)化(hua)塔、焊接煙(yan)塵凈(jing)(jing)化(hua)器(qi)(qi)等，我公司生產的環(huan)保設(she)備(bei)廣(guang)泛應(ying)用于電路(lu)板廠(chang)、電子廠(chang)、半(ban)導(dao)體廠(chang)、光(guang)伏新能源等行業(ye)(ye)，并得(de)到(dao)了廣(guang)大企業(ye)(ye)的好評，已經為上千家企業(ye)(ye)實施了廢(fei)氣(qi)治(zhi)理項目。

1、焚燒處(chu)理（RTO）：耗(hao)能大、運作費用(yong)高(gao)(gao)，適宜解(jie)決濃度較高(gao)(gao)的、小(xiao)風速有機氣體；

2、活性(xing)炭吸附法（活性(xing)碳）：小(xiao)投資(zi)、加工工藝(yi)簡易，易飽和(he)，必須與解吸、冷凝(ning)、焚燒處(chu)理等方(fang)(fang)法合用方(fang)(fang)能達到排(pai)放量標(biao)準；.

、冷凝法(fa)：與吸(xi)收(shou)、活(huo)性炭(tan)吸(xi)附等辦法(fa)合用，將有機氣(qi)體活(huo)性炭(tan)吸(xi)附萃取后(hou)冷凝、提(ti)取，回收(shou)當中有使用價值的有機化合物(wu)。這種方法(fa)常用濃度值高、風速小的有機廢氣(qi)治理場合。

弊端是：投資、耗(hao)能、運作成本(ben)高，冷凝回(hui)收物提純解(jie)決后，仍(reng)有很大部分液體廢料(liao)必須進一(yi)步處理。

4、沸(fei)石轉輪萃取+焚燒處(chu)理：沸(fei)石轉輪濃縮設(she)備(bei)主要(yao)依(yi)賴進口的，自主機器設(she)備(bei)暫不成熟。該加工(gong)(gong)工(gong)(gong)藝同樣(yang)與生(sheng)產設(she)備(bei)、制作工(gong)(gong)藝存有(you)匹配關系；

5、光催化氧(yang)(yang)化法：使用C波(bo)段(duan)（僅低于(yu)切割(ge)不銹(xiu)鋼板的(de)激光，強過氬弧焊(han)光源(yuan)的(de)數十(shi)倍強度(du)）在機(ji)器設備(bei)內，強裂(lie)(lie)解惡臭味成(cheng)分(fen)分(fen)子鏈，轉變(bian)成(cheng)分(fen)結構，將(jiang)高(gao)分(fen)子材料污染源(yuan)成(cheng)分(fen)，裂(lie)(lie)解、氧(yang)(yang)化變(bian)成(cheng)低分(fen)子無(wu)害成(cheng)分(fen)，如水和(he)二氧(yang)(yang)化碳等；

6、高(gao)(gao)溫(wen)等(deng)離子(zi)技術凈化(hua)處(chu)理法：通過壓縮、高(gao)(gao)壓聚能充放(fang)電變(bian)成(cheng)高(gao)(gao)溫(wen)等(deng)離子(zi)技術。反應(ying)器壓力增大，廢氣(qi)容積大幅度膨脹，在(zai)高(gao)(gao)溫(wen)、高(gao)(gao)電勢(shi)的(de)雙向作用下，有(you)(you)機氣(qi)體瞬(shun)間(萬分之5秒)變(bian)成(cheng)高(gao)(gao)溫(wen)等(deng)離子(zi)技術，當中長分子(zi)鏈裂(lie)解成(cheng)單質原子(zi)，有(you)(you)機化(hua)合物凈化(hua)率在(zai)90%上下。