上海酸堿廢氣處理裝置 承包環保工程

電子半導體(ti)行業酸(suan)堿性廢氣處理(li)方(fang)法，推(tui)薦使用噴淋塔。這是因為(wei)半導體(ti)制造中產生的酸(suan)性和(he)堿性廢氣采用分別(bie)收集、分別(bie)處理(li)的方(fang)法，但處理(li)設備和(he)處理(li)原理(li)基(ji)本相(xiang)同。

對(dui)于(yu)含有(you)(you) 酸(suan)性(xing)／堿性(xing)物(wu)質的廢氣(qi)，大(da)都采用大(da)型洗滌式中央(yang)廢氣(qi)處(chu)理系統進行(xing)處(chu)理。但是，有(you)(you)些情況下，由于(yu)半(ban)導(dao)體(ti)(ti)制造工(gong)作區域離中央(yang)廢氣(qi)處(chu)理系統距離較(jiao)遠，因此部分酸(suan)性(xing)／堿性(xing)廢氣(qi)在輸(shu)送至(zhi)中央(yang)廢氣(qi)處(chu)理系統前，常(chang)因氣(qi)體(ti)(ti)特性(xing)導(dao)致在管(guan)路中結晶或(huo)粉(fen)塵堆積，造成管(guan)路堵塞后導(dao)致氣(qi)體(ti)(ti)外泄，嚴重者甚至(zhi)引(yin)發爆炸，危害現場工(gong)作人員(yuan)的工(gong)作安全。

因此，在工(gong)作區域(yu)需(xu)配置適(shi)合制程(cheng)氣體(ti)特性的就(jiu)地廢氣處(chu)(chu)理(li)(li)(li)設備(bei)進(jin)行(xing)就(jiu)地處(chu)(chu)理(li)(li)(li)，之后再排(pai)入中央處(chu)(chu)理(li)(li)(li)系統(tong)，而(er)一些特殊的廢氣，包括劇毒、自(zi)燃、易爆等(deng)廢氣則(ze)需(xu)要先通過(guo)干(gan)式洗滌塔等(deng)設備(bei)通過(guo)吸附(fu)或氧化／燃燒等(deng)方法就(jiu)地處(chu)(chu)理(li)(li)(li)，之后再排(pai)人(ren)中央廢氣處(chu)(chu)理(li)(li)(li)系統(tong) 。

1、酸堿性廢氣的來源

電子(zi)半導體(ti)行(xing)業(ye)中酸(suan)堿(jian)性廢(fei)氣的(de)來(lai)源為(wei)化學清洗(xi)(xi)(xi)站，具有(you)(you)刺激性及有(you)(you)害人體(ti)，故酸(suan)堿(jian)性廢(fei)氣的(de)處(chu)理方法一(yi)般是以濕(shi)式(shi)洗(xi)(xi)(xi)滌塔做水處(chu)理后再排入大氣。洗(xi)(xi)(xi)滌塔利(li)用床體(ti)或濕(shi)潤的(de)表(biao)面可以去除0.1微米以上的(de)粒(li)子(zi)。其氣體(ti)與液體(ti)的(de)接觸方式(shi)有(you)(you)交叉（垂直交叉）流(liu)(liu)式(shi)、同向(xiang)流(liu)(liu)式(shi)及逆向(xiang)流(liu)(liu)式(shi)三種，而水流(liu)(liu)的(de)設計上，有(you)(you)噴嘴式(shi)，噴霧(wu)式(shi)，頸式(shi)及拉西環式(shi)等(deng)四種。

2、以(yi)下半導體企業生(sheng)產(chan)過(guo)程中產(chan)生(sheng)的廢(fei)氣均可處理：

? 集成電路生產(chan)企業：主要(yao)包括(kuo)數字(zi)集成電(dian)路(lu)板及模擬集成電(dian)路(lu)板生產企業(ye)。

? 分立器件生產企業：主(zhu)要包括晶(jing)體(ti)二(er)(er)極管、三極管，整流二(er)(er)極管，功率二(er)(er)極管、化合(he)物二(er)(er)極管等(deng)生產制造企業。

? 光(guang)電組件生產企(qi)業：包括(kuo)LED、OLED、LCD、光伏太陽能(neng)等的生產制造企(qi)業。

由于半(ban)導體(ti)工藝對操作室清潔度要求(qiu)*，通常(chang)使用風機抽取工藝過程中(zhong)揮(hui)(hui)發的(de)各(ge)類廢(fei)(fei)氣，因此半(ban)導體(ti)行(xing)業廢(fei)(fei)氣排(pai)放具(ju)有排(pai)氣量(liang)大(da)、排(pai)放濃度小的(de)特(te)點(dian)。廢(fei)(fei)氣排(pai)放也以(yi)揮(hui)(hui)發為主。

與半導(dao)體制(zhi)造工(gong)藝相比，半導(dao)體封(feng)裝工(gong)藝產(chan)生(sheng)(sheng)的(de)廢氣(qi)(qi)較為簡單(dan)，主要(yao)是酸性氣(qi)(qi)體、環氧樹(shu)脂及(ji)粉(fen)塵。酸性廢氣(qi)(qi)主要(yao)產(chan)生(sheng)(sheng)于(yu)電(dian)鍍等工(gong)藝；烘烤廢氣(qi)(qi)則產(chan)生(sheng)(sheng)于(yu)晶粒粘貼、封(feng)膠后烘烤過程(cheng)；劃(hua)片機在(zai)晶片切(qie)割過程(cheng)中，產(chan)生(sheng)(sheng)含微量矽塵的(de)廢氣(qi)(qi)。

上海酸堿廢氣處理裝置 承包環保工程

酸堿廢(fei)氣處理塔(ta)由噴(pen)淋系統、填(tian)料(liao)層(ceng)、除霧(wu)裝置、觀檢窗等組成，酸堿廢(fei)氣在(zai)(zai)風機的作用下進(jin)入塔(ta)體。經過填(tian)料(liao)層(ceng)，噴(pen)淋裝置噴(pen)出的處理藥(yao)劑在(zai)(zai)填(tian)料(liao)層(ceng)形(xing)成液膜，廢(fei)氣與(yu)液膜接觸發生化學反應。后(hou)續經過多層(ceng)填(tian)料(liao)層(ceng)處理，再經除霧(wu)裝置干燥排放，處理后(hou)的達(da)到排放要求。